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      139-2342-9552

      8-12寸半自動劃片機

      BT3352 精密砂輪劃片機

      高效率高精度高性能

      BT3352 精密砂輪劃片機主要用于半導體晶圓、集成電路、QFN、發光二極管、LED芯片、太陽能電池、熱敏電阻、壓電陶瓷、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍寶石和玻璃等材料。其工作原理是通過空氣靜壓主軸帶動金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉,將晶圓或器件沿切割道方向進行切割或開槽。 

      139-2342-9552 獲取定制化方案

      產品詳情產品參數樣品案例

      產品介紹

      可用于集成電路QFN、壓電陶瓷、發光二極管、分離器件、光通訊器件、LED芯片、熱敏電阻、光學器件、陶瓷電路器件的劃切分離加工。適用于硅、石英、玻璃、藍寶石、氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵和鈮酸鋰等材料的劃切加工。最大兼容8英寸晶圓,具有單主軸和雙主軸的機型。其工作原理是通過空氣靜壓主軸帶動金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉,將晶圓或器件沿切割道方向進行切割或開槽。 

      產品介紹:

      ● 1.8KW(2.4KW可選) 大功率直流主軸

      ● 高剛性龍門式結構

      ● T軸旋轉軸采用DD馬達

      ● 進口超高精密級滾柱型導軌

      ● 進口超高精密滾珠型絲桿

      ● CCD雙鏡頭自動影像系統

      ● 友好人機交互界面

      ● 瑞士進口滾柱導軌,精度高,耐用性久,穩定性高,超高直線度,實測0.9μm

      ● 采用進口研磨級超高精密滾珠絲杠,定位精度可達2μm全行程

      ● 自動對焦功能,具有CSP切割功能,具有 在線刀痕檢測功能

      ● NCS非接觸測高,BBD刀破損檢測,自動修磨法蘭功能

      ● 工件形狀識別功能,更加友好人機界面

      ● 自動化程序著提升

      ● 滿足各種加工工藝需求



      產品參數

      項目

      產品型號

      BT3352 精密砂輪劃片機


      加工尺寸

      ?305mm/260mm×260mm或定制

      X軸

      最大速度

      600mm/s

      直線度

      2μm全行程

      Y軸

      有效行程

      310mm

      定位精度

      2μm全行程

      分辨率

      0.1μm

       Z軸

      有效行程

      40mm

      單步步盡量

      0.0005mm

      最大刀輪直徑

      60mm或定制

      T軸

      轉動角度范圍

      380

      主軸

      最大轉速

      60000rpm

      額定輸出功率

      直流1.8/2.4KW

       基礎規格

      電源

      220V/50Hz

      壓縮空氣

      0.5-0.6Mpa、Max220L/min

      切削水

      0.2-0.3Mpa、Max 4L/min

      排風流量

      3m3/min

      尺寸(mm)

      1080X1160X1810

      重量

      1200KG



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